圖紙介紹 ： 涂膠/顯影群組系統(tǒng)是通用的高產(chǎn)出晶圓處理系統(tǒng)，配置涂膠機(jī)、顯影機(jī)、蒸汽底漆、HPO、冷卻板等。涂膠/顯影群組系統(tǒng)可用于處理大量的光阻和光敏聚合物。其精密的系統(tǒng)軟件以及可靠的硬件配置使用戶可在各種烘烤溫度下對加熱板進(jìn)行編程并同時(shí)對晶圓進(jìn)行涂底、涂膠和顯影。該系統(tǒng)擴(kuò)展性強(qiáng)，可滿足業(yè)務(wù)拓展或業(yè)務(wù)流程需要。
行業(yè)用途 ： 機(jī)械設(shè)備
設(shè)計(jì)軟件 ： SolidWorks
版本/編輯 ： 2017 【可編輯、含參數(shù)】
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