圖紙介紹 ：
本模型為一款高性能全自動曝光機，整機外形尺寸為 2500mm × 3200mm × 2558mm (長×寬×高)。該設(shè)備集成了先進(jìn)的自動化功能，包括自動上下料系統(tǒng)、高精度自動視覺對位系統(tǒng)以及自動曝光單元，實現(xiàn)了制程的高度自動化與集成化。
其核心定位技術(shù)采用高性能的 UVW 對位平臺，配合精密的直線模組驅(qū)動系統(tǒng)。UVW 平臺結(jié)構(gòu)確保工作臺能夠在平面內(nèi)實現(xiàn) X/Y/θ 三自由度的精密調(diào)整，結(jié)合直線模組的高剛性及平穩(wěn)運動特性，使設(shè)備整體對位精度達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先的 ±3μm 級別，滿足高精度光刻制程的嚴(yán)苛要求。
行業(yè)用途 ： 機械設(shè)備
設(shè)計軟件 ： SolidWorks
版本/編輯 ： 通用 【可編輯、不含參數(shù)】
文件格式 ： step(stp)
下載權(quán)限 ： 鉆石會員.等級及以上
會員等級 ：我的等級？ | 會員權(quán)限說明？
點擊排行
最新發(fā)布
下載排行
